自由曲面反射镜

我们开发出一种结合慢刀路径的光学探针测试与补偿加工方法，实现不依赖B轴、大动态范围、亚微米精度的在线测试与补偿加工，极大的提高了自由曲面加工和检测精度，100mm口径自由曲面的面形精度优于PV 0.5μm。