部分反射镜

光学系统中，经常需要将同一光源的光束分成两路。常见的方法是通过部分反射镜来完成，光通过部分反射镜后，一部分光透过，设透过率为T，一部分光反射，设反射率为R。两束光一个做参考光，另外一个做测试光，T/R则为分光比。公司主要生产具有高损伤阈值特性的HfO₂/SiO₂组合工艺制备的薄膜。此外，有些情况下要求薄膜器件在倾斜使用时，其P偏振分量和S偏振分量的差异要尽可能小，关于此类需求可参考本公司关于消偏振镜相关内容。